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Electrochemical etching process and modeling its uniformity in flow feactor

机译:电化学蚀刻工艺及其在流道中的均匀性建模

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摘要

Electrochemical behavior of 301 and 316L stainless steel in neutral solution in conditions of electrochemical etching governed by passivation metal surface with salt films. Mathematical models of electrochemical etching process uniformity was created and compared with the experiment. The most significant factors which influent on the uniformity are pattern line wide, cell vltage and metal thickness.
机译:301和316L不锈钢在中性溶液中的电化学行为受盐膜钝化金属表面的电化学腐蚀条件。建立了电化学刻蚀工艺均匀性的数学模型,并与实验进行了比较。影响均匀性的最重要因素是图案线宽,单元电压和金属厚度。

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