基于视觉引导的三维纳米触发测头系统的研究

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致谢

摘要

第一章 绪论

1．1 研究背景

1．2 国内外微纳米三坐标测量机研究现状

1．3 课题研究内容

1．4 课题来源

第二章 三维谐振触发机理的研究

2．1 测球和试样间主要界面力

2．2 三维谐振触发测头触发模型

2．2．1 Z方向接触模型

2．2．2 水平(X和Y)方向接触模型

2．2．3 两种模型在空间上的统一

2．3 测量力大小的估算

2．3．1 水平方向的测量力

2．3．2 Z方向的测量力

2．4 本章小结

第三章 三维触发测头系统的设计和实验系统的柄建

3．1 测头系统整体设计方案

3．2 实验系统的搭建和原理

3．3 系统硬件的介绍

3．3．1 测头系统机械结构

3．3．2 CCD摄像头

3．3．3 石英音叉测头

3．3．4 三维空间定位系统

3．3．5 系统电路的设计

3．3．6 数据采集卡

3．3．7 实验试样夹具的设计

第四章 系统测试软件的设计

4．1 特殊方向接近力曲线测试程序

4．1．1 机器视觉引导算法

4．1．2 运动控制和路径规划算法

4．1．3 基于MFC的界面程序

4．2 微孔三维形貌测量程序的设计

第五章 实验测试与分析

5．1 测头系统性能测试

5．1．1 测头的接近力曲线测试

5．1．2 特殊方向接近力曲线测量

5．1．3 力曲线重复性测量实验

5．1．4 单点触发重复性测量实验

5．1．5 台阶步进测量实验

5．2 视觉引导逼近实验

5．3 三维形貌测量实验

第六章 总结与展望

6．1 研究总结

6．2 工作展望

参考文献

攻读硕士学位期间研究成果