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升温速率对Sol-Gel制备ZnO及Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜性质的影响

     

摘要

为探究升温速率对ZnO及Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜的晶体结构、光谱性质的影响,采用Sol-Gel法在石英玻璃上制备ZnO及Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜,通过X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)、TU-1901双光束紫外–可见光光度计检测手段对样品进行结构、吸收及透射光谱的分析,从而获得制备ZnO及Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜的最佳升温条件。测试结果表明,ZnO、Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜在不同的升温速率下表现出良好的六角纤锌矿结构,并且薄膜有较好的透射率。当升温速率为1℃/min时,ZnO薄膜晶粒尺寸最大,且沿c轴择优取向生长,透射率较好;当升温速率为5℃/min时,Fe(0.01)Zn(0.99)O薄膜晶粒尺寸较大,样品沿c轴择优取向生长,透射率最好。

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