MEMS微镜动力学模型修正技术研究

沈婧怡; 丁晓红; 张横

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针对MEMS微镜动力学试验周期长、成本高的问题,通过Solidworks软件建立MEMS微镜几何模型,通过Hypermesh软件建立有限元模型。针对微镜镀层材料参数、厚度难以测量,以及微镜动力学特性受镀层加工工艺影响的问题,用元素型模型修正方法对模型进行修正,修正后,模型特征频率及振型与试验结果基本一致,表明通过元素型模型修正方法可以实现微镜模型的有效修正,修正后的模型动力学分析结果与实验接近。

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来源
《计算机时代》 |2022年第9期|105-107|共4页
作者
沈婧怡; 丁晓红; 张横;
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作者单位

上海理工大学机械工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机辅助机械制造;
关键词
MEMS微镜; 有限元分析; 模型修正; 动力学仿真;

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