T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究

佘东生; 杨一柳; 李琨; 王晓东; 王立鼎

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T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究

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为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用OFV534激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应,采用基于压电陶瓷的底座激励方法实现对微结构的激励,在激励装置中采用了一个可动机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题。最后,使用带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,测试了一种典型T型单晶硅微结构的动态特性,测试温度范围为室温~300℃,得到硅微悬臂梁的固有频率温度系数约为-2.71×10-5/℃,与理论分析的结果具有很好的一致性。

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来源
《仪器仪表学报》 |2015年第7期|1470-1478|共9页
作者
佘东生; 杨一柳; 李琨; 王晓东; 王立鼎;
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作者单位

渤海大学工学院;

渤海大学计算机基础教研部;

大连理工大学机械工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类振动测量仪表;
关键词
MEMS测试; T型微悬臂梁; 高温环境; 固有频率温度系数; 底座激励;

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