电容式RF MEMS谐振器

贾英茜; 赵正平; 杨拥军; 王立发

首页> 中文期刊>微纳电子技术 >电容式RF MEMS谐振器

电容式RF MEMS谐振器

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势。对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析。介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间。重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响。最后,对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结,对其发展趋势做出展望。

著录项

来源
《微纳电子技术》|2010年第2期|99-104|共6页
作者
贾英茜; 赵正平; 杨拥军; 王立发;
展开▼
作者单位

河北工业大学信息工程学院;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

中国电子科技集团公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
谐振器; 射频; 谐振频率; 品质因数; 锚; 电容间隙;
入库时间 2022-08-20 19:28:22

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. RF-MEMS谐振器的性能优化研究 [J] . 代雪梅 ,张晓青 . 数字技术与应用 . 2019,第006期
2. RF-MEMS谐振器的性能优化研究 [J] . 代雪梅1 ,张晓青1 . 数字技术与应用 . 2019,第006期
3. RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展 [J] . 潘武 ,宋茂叶 ,吴文雯 . 电子元件与材料 . 2011,第009期
4. 电容式RF MEMS开关膜片上边缘电场的表征 [J] . 李君儒 ,高杨 ,何婉婧 . 强激光与粒子束 . 2015,第002期
5. 电容式RF MEMS开关膜片边缘场效应的表征 [J] . 李君儒 ,高杨 ,何婉婧 . 太赫兹科学与电子信息学报 . 2015,第002期
6. 电容式RF MEMS开关介质中电荷积累机理及其消除方法的研究 [C] . 李刚 . 第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016） . 2016
7. 基于MKRVM对电容式RF-MEMS开关的寿命预测方法 [A] . 白月皎 . 2021

电容式RF MEMS谐振器

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅