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基于键合技术的新型集成光学干涉仪

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摘要

提出了一种基于超薄薄膜光电二极管 (PD)构成的新型集成光学干涉仪构造方案 ,基于键合技术 ,论证了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成光学干涉仪的可能性。着重描述了集成光学干涉仪构造关键部件———超薄薄膜光电二极管的设计、制造及其特性。所构成的集成光学干涉仪经实验得到初步验证 ,结果表明。

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来源
《微纳电子技术》 |2003年第7期|397-399|共3页
作者
李以贵; 惠春; 宓晓宇; 羽根一博;
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作者单位

上海交通大学微纳米技术研究院;

日本东北大学机械电子系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
光学干涉仪; 键合技术; 薄膜光电二极管; 制作工艺; 工作原理;

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