原子力显微镜仿真平台的设计与实现

张玉东; 高金晟; 周娴玮; 方勇纯

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原子力显微镜仿真平台的设计与实现

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原子力显微镜作为迄今为止应用最成功的微系统之一,在整个微纳米领域中起着举足轻重的作用。原子力显微镜的仿真为其研究提供了第一手的思路,数据与资料,是该领域中极为重要的一个研究方向。分析了原子力显微镜的工作机理和其中的复杂非线性因素,在此基础上,设计并采用Matlab/Simulink工具实现了一个包含接触和轻敲两种模式的原子力显微镜仿真系统,然后通过对样品的扫描结果验证了该仿真平台的有效性。

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来源
《系统仿真学报》 |2009年第6期|1548-1552|共5页
作者
张玉东; 高金晟; 周娴玮; 方勇纯;
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作者单位

南开大学信息学院机器人所;

南开大学信息学院电信系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机仿真;
关键词
原子力显微镜; 仿真平台; 接触式; 轻敲式; 调幅;

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