450 mm（18英寸）晶圆计划踩煞车ASML：现阶段已无必要性

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荷商微影设备大厂ASML在2012年提出的＂客户联合投资专案＂（Customer Co-Investment Program）,广邀台积电、英特尔（Intel）和三星电子（Samsung Electronics）三家半导体大厂投资入股研发450 mm晶圆机台和极紫外光（EUV）机台,不过,现在整个半导体产业链对于450 mm晶圆世代的来临已无急迫需求，研发资金会以300mm（12英寸晶圆的EUV机台为主，450mm晶圆计划已紧急踩煞车。

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《电子工业专用设备》 |2015年第2期|44-45|共2页
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