磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探

程勇; 陆益敏; 黄国俊; 米朝伟; 黎伟; 田方涛; 王赛

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磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探

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提出了磁场辅助激光沉积类金刚石（DLC）膜技术,在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场,用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中,使其在膜层中含量大幅上升,间接地减少了大颗粒的比例,因此,与无磁场条件下制备的DLC膜相比,引入磁场不仅提高了DLC膜的沉积速率,而且提高了其机械硬度;更重要的是,间接地证明了激光对靶材离化的高效性,为脉冲激光沉积（PLD）结合磁过滤技术提供了可行性的依据。

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来源
《红外与激光工程》|2019年第11期|269-273|共5页
作者
程勇; 陆益敏; 黄国俊; 米朝伟; 黎伟; 田方涛; 王赛;
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作者单位

陆军工程大学光电技术研究所;

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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
磁场辅助脉冲激光沉积; 类金刚石膜; 纳米硬度; 厚度分布;

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