基于微模塑法的PMMA/SiO2透射光栅的制备

刘建平; 杨小敏; 赵永刚; 王雪芳; 胡林

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基于微模塑法的PMMA/SiO2透射光栅的制备

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以sol-gel法合成出的PMMA/SiO2杂化溶胶为加工对象,以聚二甲基硅氧烷为弹性印章,采用软刻蚀技术中的微模塑方法,在普通光学玻璃表面制备出了PMMA/SiO2杂化材料栅格状的微图形结构.扫描电子显微镜(SEM)、光学显微镜和扫描探针显微镜(SPM)的测试结果表明:所制得的光栅微结构清晰规整;以氦氖激光器(632.8nm)为光源,通过衍射实验,得到了清晰的光栅衍射图案.

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来源
《安徽师范大学学报（自然科学版）》 |2009年第6期|554-556,579|共4页
作者
刘建平; 杨小敏; 赵永刚; 王雪芳; 胡林;
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作者单位

华东交通大学,化学系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学系,江西,南昌,330013;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类不饱和酸的酯类聚合物;
关键词
软刻蚀; 微模塑; 杂化材料; 透射光栅;

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