甩胶法制备ITO薄膜及性能研究

高德文; 武光明; 佟帅

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甩胶法制备ITO薄膜及性能研究

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采用溶胶凝胶并通过甩胶制备薄膜方法制备了ITO薄膜。以转速、甩胶时间、干燥温度和退火温度为参数进行正交试验,确定了甩胶法制备ITO薄膜的最优化条件,并对最优化条件下制备的薄膜进行了电学性能、光学性能和形貌分析。结果表明:该透明导电薄膜具有良好的导电性能及透光性能,其表面方阻为13Ω/□,可见光透过率达到了96%。

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来源
《北京石油化工学院学报》 |2011年第3期|34-37|共4页
作者
高德文; 武光明; 佟帅;
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作者单位

北京石油化工学院北京102617;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
ITO薄膜; 甩胶法; 光电性能;

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