首页> 中文期刊> 《红外与毫米波学报》 >InAs/GaSb超晶格/GaSb体材料中短波双色红外探测器

InAs/GaSb超晶格/GaSb体材料中短波双色红外探测器

         

摘要

采用GaSb体材料和InAs/GaSb超晶格分别作为短波与中波吸收材料,外延生长制备了NIPPIN型短中双色红外探测器.HRXRD及AFM测试表明,InAs/GaSb超晶格零级峰和GaSb峰半峰宽FWHM分别为17.57 arcsec和19.15 arcsec,10μm×10μm范围表面均方根粗糙度为1.82?.77 K下,SiO2钝化器件最大阻抗与面积乘积值RA为5.58×105Ω?cm2,暗电流密度为5.27×10-7 A?cm-2,侧壁电阻率为6.83×106Ω?cm.经阳极硫化后,器件最大RA值为1.86×106Ω?cm2,暗电流密度为4.12×10-7A?cm-2,侧壁电阻率为4.49×107Ω?cm.相同偏压下,硫化工艺使器件暗电流降低1-2个数量级,侧壁电阻率提高了1个数量级.对硫化器件进行了光谱响应测试,器件具有依赖偏压极性的低串扰双色探测性能,其短波通道与中波通道的50%截止波长分别为1.55μm和4.62μm,在1.44μm、2.7μm和4μm处,响应度分别为0.415 A/W、0.435 A/W和0.337 A/W.

著录项

  • 来源
    《红外与毫米波学报》 |2021年第5期|569-575|共7页
  • 作者单位

    云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室 云南昆明650500;

    云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室 云南昆明650500;

    云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室 云南昆明650500;

    云南师范大学云南省光电信息技术重点实验室 云南昆明650500;

    中国科学院半导体研究所超晶格与微结构国家重点实验室 北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电子工程中心 北京100049;

    中国科学院半导体研究所超晶格与微结构国家重点实验室 北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电子工程中心 北京100049;

    中国科学院半导体研究所超晶格与微结构国家重点实验室 北京100083;

    中国科学院大学材料科学与光电子工程中心 北京100049;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TN140.3050;
  • 关键词

    InAs/GaSb超晶格; GaSb体材料; 中短双色; 红外探测; 侧壁电阻率; 低串扰;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号