法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
授权
授权
2015-05-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20141224
实质审查的生效
2015-04-15
公开
公开
技术领域
本发明属于半导体材料与器件技术领域,涉及一种GaSb缓冲层的生长方法,特别涉及一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格GaSb缓冲层的方法。
背景技术
1977年首次提出InAs/GaSb类超晶格应用于红外探测,由于这类超晶格与以GaAs/AlGaAs为代表的I类超晶格不同,其中InAs材料的导带在GaSb材料的价带之下,能带结构彼此错开,可以通过调节InAs/GaSb层厚及其相应的组分,调节能带结构,得到广泛的关注。InAs/GaSb类超晶格作为第三代红外探测器的最具前景材料体系,使得以军用为核心的红外探测器发展迅速,并大量应用于通讯、夜视、地球资源探测、战略预警、报警、测温、大气监测等领域。
由于红外探测器材料的特殊性及窄带性特点,科研及生产中对于衬底的选择成为制约高质量、低成本、产业化的重要影响因素。大部分选择用于生长的衬底为GaSb衬底、GaAs衬底,但与生长InAs/GaSb超晶格晶格匹配的此类衬底生长困难、价格昂贵,成为急需突破的瓶颈。
硅衬底技术成熟、价格低廉,并可与现阶段半导体器件制备技术相匹配,因此成为红外探测器制备优选衬底。但由于硅衬底与II类超晶格材料晶格失配严重,引入大量缺陷与位错,严重影响器件功能。因此开发在硅衬底上生长高质量GaSb缓冲层成为未来趋势。
发明内容
本发明的目的是提供一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格红外探测器GaSb缓冲层的方法,可以大大降低红外探测器制备成本。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格红外探测器GaSb缓冲层的方法,采用变温生长GaSb缓冲层,包括如下步骤:
步骤1:取一衬底;
步骤2:在衬底上生长AlSb薄层;
步骤3:在AlSb薄层上低温生长GaSb薄层;
步骤4:停顿5-10min;
步骤5:在GaSb薄层上高温生长GaSb缓冲层;
步骤6:在GaSb缓冲层上生长外延层;
步骤7:对生长结束后材料进行降温处理,完成在硅衬底上生长红外探测材料GaSb缓冲层的制备。
本发明中,所述衬底的材料为硅。
本发明中,所述外延层的材料为InAs、GaSb或InSb。
本发明中,所述AlSb薄层的厚度为1.5-5nm。
本发明中,所述低温生长GaSb薄层的厚度为5-10nm。
本发明中,所述高温生长GaSb缓冲层的厚度为500-1500nm。
本发明中,所述AlSb薄层的生长温度为500-580℃。
本发明中,所述低温生长GaSb薄层的温度为450-500℃。
本发明中,所述高温生长GaSb缓冲层的温度为550-600℃。
本发明中,利用分子束外延技术分别制备出AlSb薄层、低温生长GaSb薄层、高温生长GaSb缓冲层、外延层。
本发明在较低温度下生长GaSb薄层,可有效限制外延层与衬底由于晶格失配产生的位错,减少高温下生长的GaSb缓冲层中的缺陷密度,提高外延层质量,具有广阔应用前景与技术优势。
附图说明
图1为本发明硅衬底上生长GaSb缓冲层的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的说明,但并不局限于此,凡是对本发明技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围,均应涵盖在本发明的保护范围中。
实施例1:
本实施例提供了一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格GaSb缓冲层的方法,包括如下步骤:
步骤1:取一衬底10,所述衬底10的材料为硅。
步骤2:在衬底10上利用分子束外延技术生长AlSb薄层11。薄层厚度为1.5-5nm,生长温度500-580℃。主要目的为最大化的缓解衬底与GaSb缓冲层间的晶格失配,形成过渡层,可以大大减少下一步材料生长的位错、缺陷,提高材料质量。
步骤3:在AlSb薄层11上先低温生长GaSb薄层12,薄层厚度为5-10nm,生长温度为450-500℃。由于AlSb与GaSb晶格常数相近,晶格失配较小,有利于减小位错和缺陷的产生。
步骤4:在GaSb薄层12生长结束后,停顿5-10min,调整生长温度至下一个材料生长所需的温度。
步骤5:在GaSb薄层12上生长GaSb缓冲层13,厚度500-1500nm,生长温度为550-600℃。
GaSb薄层12的作用是阻止GaSb缓冲层13和AlSb薄层11、衬底10之间因为晶格失配产生的位错,减小GaSb缓冲层13材料中的位错密度、提高缓冲层材料的晶体质量。
步骤6:在GaSb缓冲层13上生长外延层14。
外延层的材料为InAs、GaSb、或InSb。
该GaSb缓冲层可以用来生长和制备与外延层14材料晶格匹配的材料及器件。
步骤7:然后进行降温处理,完成在硅衬底上生长红外探测材料GaSb缓冲层的制备,其结构如图1所示。
实施例2:
本实施例提供了一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格GaSb缓冲层的方法,包括如下步骤:
步骤1:取一硅衬底10;
步骤2:在衬底上生长AlSb薄层11,生长温度为540℃,厚度为3.6nm。
步骤3:在AlSb薄层11上先低温生长GaSb薄层12,生长温度为480℃,厚度为8nm。此低温生长GaSb薄层的目的是阻止GaSb缓冲层13和AlSb薄层11、衬底10之间因为晶格失配产生的位错,减小GaSb缓冲层13材料中的位错密度、提高缓冲层材料的晶体质量。
步骤4:停顿8min,调整温度至下一个生长温度。
步骤5:在GaSb薄层12上高温生长GaSb缓冲层13,生长温度为585℃,厚度为1000nm。
步骤6:在GaSb缓冲层13上生长外延层14。外延层14的材料为InAs。
步骤7:然后进行降温处理,完成在硅衬底上生长红外探测材料GaSb缓冲层的制备,其结构如图1所示。
实施例3:
本实施例提供了一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格GaSb缓冲层的方法,包括如下步骤:
步骤1:取一硅衬底10;
步骤2:在衬底上生长AlSb薄层11,生长温度为520℃,厚度为3 nm。
步骤3:在AlSb薄层11上先低温生长GaSb薄层12,生长温度为460℃,厚度为6nm。此低温生长GaSb薄层的目的是阻止GaSb缓冲层13和AlSb薄层11、衬底10之间因为晶格失配产生的位错,减小GaSb缓冲层13材料中的位错密度、提高缓冲层材料的晶体质量。
步骤4:停顿10min,调整温度至下一个生长温度。
步骤5:在GaSb薄层12上高温生长GaSb缓冲层13,生长温度为575℃,厚度为800nm。
步骤6:在GaSb缓冲层13上生长外延层14。外延层14的材料为GaSb。
步骤7:然后进行降温处理,完成在硅衬底上生长红外探测材料GaSb缓冲层的制备,其结构如图1所示。
实施例4:
本实施例提供了一种在硅衬底上变温生长InAs/GaSb超晶格GaSb缓冲层的方法,包括如下步骤:
步骤1:取一硅衬底10;
步骤2:在衬底上生长AlSb薄层11,生长温度为560℃,厚度为5nm。
步骤3:在AlSb薄层11上先低温生长GaSb薄层12,生长温度为500℃,厚度为10nm。此低温生长GaSb薄层的目的是阻止GaSb缓冲层13和AlSb薄层11、衬底10之间因为晶格失配产生的位错,减小GaSb缓冲层13材料中的位错密度、提高缓冲层材料的晶体质量。
步骤4:停顿7min,调整温度至下一个生长温度。
步骤5:在GaSb薄层12上高温生长GaSb缓冲层13,生长温度为600℃,厚度为1500nm。
步骤6:在GaSb缓冲层13上生长外延层14。外延层14的材料为InSb。
步骤7:然后进行降温处理,完成在硅衬底上生长红外探测材料GaSb缓冲层的制备,其结构如图1所示。
机译: 有机金属气相外延制备的InAs / GaSb超晶格结构红外探测器
机译: INAS / GASB应变层超晶格红外探测器中的辐射缺陷缓解方法及相关方法
机译: INAS / GASB应变层超晶格红外探测器的辐射缺陷缓解和相关方法