室温沉积Cu夹层ZnO薄膜的光电性能

张易军; 闫金良

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室温沉积Cu夹层ZnO薄膜的光电性能

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用磁控溅射技术在室温下制备了纳米Cu夹层ZnO薄膜,经X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜的结构、光学性质和电学性质进行了测试.发现该薄膜随着Cu层厚度增加,ZnO层结晶性变差,可见光区域光学透光率减小,透射曲线蓝移,面电阻先迅速下降后缓慢下降.随着ZnO层厚度增加,薄膜c轴择优取向明显,压应力逐渐减小,光学透光率先增大后减小,面电阻随ZnO层厚度增加略有变化.

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来源
《鲁东大学学报（自然科学版）》 |2010年第4期|322-325|共4页
作者
张易军; 闫金良;
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作者单位

鲁东大学,物理学院,山东,烟台,264025;

鲁东大学,物理学院,山东,烟台,264025;

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正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
纳米Cu夹层; ZnO薄膜; 光学性能; 电学性能;

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