不同脉冲激光沉积距离对TiO2沉积薄膜的影响

董晨钟; 刘金柱; 苏茂根; 杜颖; 胡素素

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不同脉冲激光沉积距离对TiO2沉积薄膜的影响

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应用纳秒脉冲激光沉积技术分别在距离靶面6.0,7.0,8.0,9.0和10.0 cm位置处制备了TiO 2薄膜.基于扫描电镜(SEM)、X射线能谱(EDS)、X射线光电子能谱(XPS)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis spectroscopy)以及四探针测阻表征技术对TiO 2沉积薄膜形貌、元素种类及其分布、元素价态、光学性能和电学性能进行了表征分析.结果表明,应用脉冲激光沉积技术制备TiO 2薄膜具有良好的保成分性,溅射颗粒随沉积距离的增加而减少、变小.

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来源
《西北师范大学学报（自然科学版）》|2021年第3期|39-43|共5页
作者
董晨钟; 刘金柱; 苏茂根; 杜颖; 胡素素;
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作者单位

西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室甘肃兰州 730070;

西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室甘肃兰州 730070;

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正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
脉冲激光沉积; 金红石TiO2; TiO2薄膜; Magnéli相氧化钛;

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