直线电机驱动的磁悬浮平台推力动态解耦控制

刘德君; 郭庆鼎; 翁秀华

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直线电机驱动的磁悬浮平台推力动态解耦控制

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介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.

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来源
《沈阳工业大学学报》 |2005年第1期|43-47|共5页
作者
刘德君; 郭庆鼎; 翁秀华;
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作者单位

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

北华大学,电气工程学院,吉林,吉林,132021;

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

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正文语种 chi
中图分类 TM921.541;
关键词
磁悬浮平台; 动态解耦控制; 状态反馈; 直线电机; 复合控制;

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