基于逆控制的直线电机驱动磁悬浮平台推力系统

刘德君; 郭庆鼎; 翁秀华

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基于逆控制的直线电机驱动磁悬浮平台推力系统

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介绍一种新型的磁悬浮平台,由于该直线电机驱动的磁悬浮平台的推力系统是一个多变量、非线性、强耦合的对象.为了达到较好的控制效果,应用逆控制算法,对它进行解耦控制,使其成为无耦合的三个子系统.然后根据线性系统理论进行主通道控制器的设计.同时配以速度前馈控制器来改善动态性能.仿真实验结果表明,这种控制方案达到解耦的效果,有良好的动态、静态特性,满足半导体微细加工、电路板制造、微组装系统、高速贴片等高精度定位的场合.

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来源
《沈阳工业大学学报》 |2005年第2期|183-186|共4页
作者
刘德君; 郭庆鼎; 翁秀华;
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作者单位

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

北华大学,电气工程学院,吉林,吉林,132021;

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TM921.541;
关键词
磁悬浮平台; 逆控制; 前馈控制; 直线电机; 精密定位;

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