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激光瞄准芯片加工

         

摘要

在半导体加工领域,将许多功能集成在尽可能小的空间内对芯片设计者提出了新的挑战。使用新型低K值电介材料以及超薄封装增加了复杂器件的层数和晶片的薄度,这些方法虽提高了芯片的性能,但在加工工艺方面则出现一些新问题。

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