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晓舒;
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极紫外光刻系统; 反射镜; 多层膜; 反射率;
机译:用于下一代光刻的B基多层反射镜的热稳定性
机译:具有阻挡层的高性能La / B 4 inf> C多层反射镜,适用于下一代光刻
机译:具有增强的光谱选择性的多层反射镜,适用于下一代极紫外光刻
机译:具有阻尼功能的新型挠曲偏转装置:面向3D光刻的激光反射镜
机译:用于下一代光刻的新型化学放大抗蚀剂的开发和高级表征
机译:具有全硅层的下一代高抗反射镜
机译:用于下一代光刻的新型抗蚀剂材料
机译:用于软X射线投影光刻的高性能多层反射镜。
机译:用于EUV波长范围的反射镜,用于该反射镜的基板,用于包括该反射镜或基板的用于微光刻的投影物镜以及用于包括该投影物镜的用于微光刻的投影曝光设备
机译:用于euv-波长范围的反射镜,此类反射镜的制造工艺,具有此类反射镜的用于微光刻的投影透镜系统和具有此类投影物镜的用于微光刻的投影曝光系统
机译:用于用光刻辐射照亮物体水平的物场的微光刻投影曝光系统的照明系统,具有两个反射镜,其中一个反射镜是平面反射镜
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