圆光栅盘刻划

曹向群

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圆光栅盘刻划

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＜正＞（一）引言随着社会主义建设事业的发展,精密加工、精密测量、自动控制等都朝着数控、数显方向发展,作为对数控、数显的关键元件之一的计量光栅的需求也日趋迫切,国外不少单位用专门机床来制造计量光栅,西德海顿汉（HEIDENHAIN）甚至采用流水线来生产光栅,就是为了满足对光栅的需求。我国对于计量光栅的制造也较重视,目前主要采用刻划法、投影曝光法和接触复制法等制造。投影曝光法制造光栅有其优越性,由于采用一块模板接拍,因而效率高,同时

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来源
《光学仪器》|1979年第3期|62-67|共6页
作者
曹向群;
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作者单位

浙江大学光仪系;

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