首页> 中文期刊>光学仪器 >发展电子工业用的光学仪器

发展电子工业用的光学仪器

     

摘要

<正> 随着电子工业,特别是半导体集成电路的发展,不断地、越来越广泛地要求光学工业为它服务,而且对仪器的精度以及各项技术性能指标的要求也日益提高。这些仪器包括图形初缩、精缩制版,图形发生器,接触式、接近式和投影式光刻机以及测试掩模版或集成电路的各种光学仪器。上述仪器已形成光学仪器中的一个新分支。

著录项

  • 来源
    《光学仪器》|1981年第4期|78-78|共1页
  • 作者

    祝绍箕;

  • 作者单位
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号