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STUDY OF A MEMS HYBRID THERMO-PZT MICRO ACTUATOR

机译：MEMS混合热敏PZT微执行器的研究

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The current study presents an analytical model for a MEMS cantilever based hybrid thermo-piezoelectric micro actuator. The micro actuator structure consists of a unimorph type bending piezoelectric beam and a passive layer which uses the thermal bimorph principle. Primarily, under electrical and thermal loadings, the governing equations of motion are derived. After verification of the results, the deflection analysis of the micro actuator is performed. Moreover, the equivalent force at the actuator tip is obtained. To provide efficient optimization, the effects of the micro actuator geometrical and materials properties on the actuator tip deflection and force are investigated.
机译：当前的研究提出了基于MEMS悬臂的混合热压电微致动器的分析模型。微致动器结构由单压电晶片型弯曲压电梁和使用热双压电晶片原理的无源层组成。首先，在电和热负荷下，得出运动的控制方程。在验证结果之后，执行微致动器的挠度分析。而且，获得了在致动器末端的等效力。为了提供有效的优化，研究了微执行器的几何形状和材料属性对执行器尖端挠度和力的影响。

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