公开/公告号CN109467042A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;
申请/专利号CN201710804370.4
申请日2017-09-08
分类号
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司;
代理人孙伟峰
地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
入库时间 2024-02-19 06:57:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/00 申请日:20170908
实质审查的生效
2019-03-15
公开
公开
机译: 密封MEMS器件及制造密封MEMS器件的方法及MEMS器件的封装结构
机译: 用于MEMS器件的防尘结构和MEMS麦克风封装结构
机译: 具有用于密封MEMs器件的胶水排放塞的模制封装结构