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Image analysis to characterize CVD diamond deposits

机译:图像分析以表征CVD金刚石沉积物

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摘要

This paper describes an image analysis procedure developed to characterize the morphology of MPCVD diamond deposits in the early stage of the deposition process. Various parameters were measured on scanning microscopy images, using algorithms based either on individual analysis of isolated particles or on a two-dimensional boolean model. As the second procedure just requires to perform global measurements, it has the advantage to remain efficient even for large covering ratios (substrate surface covered by diamond).%Cet article présente une méthode d'analyse d'image permettant de décrire la morphologie de dépôts de diamant par MPCVD aux premiers stades du dépôt. Différents paramètres sont mesurés sur des images de microscopie à balayage au moyen d'algorithmes basés soit sur l'étude individuelle de particules isolées, soit sur un modèle booléen bidimensionnel. Comme cette seconde méthode ne nécessite que des mesures globales, elle reste efficace même lorsque le taux de couverture (fraction de la surface de substrat couverte de diamant) devient important.
机译:本文介绍了一种图像分析程序,该程序旨在表征沉积过程早期的MPCVD金刚石沉积物的形态。使用基于孤立颗粒的单独分析或二维布尔模型的算法,在扫描显微镜图像上测量各种参数。由于第二步仅需要执行整体测量,因此即使在大覆盖率(衬底表面被金刚石覆盖)下,它也具有保持高效的优势。%本文介绍了一种描述沉积物形态的图像分析方法MPCVD在沉积的早期阶段沉积钻石。使用基于孤立颗粒的单独研究或基于二维布尔模型的算法,在扫描显微镜图像上测量不同的参数。由于第二种方法仅需要整体测量,因此即使覆盖率(被金刚石覆盖的基材表面的分数)变得很大时,它仍然有效。

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