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【24h】

A Silicon Micromachined RF Microswitch

机译：硅微加工RF微动开关

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A mechanical microswitch for use in micro-or millimeter-waves has been fabricated by single- crystal silicon bulk micromachining on a glass substrate. The mechanical part of the device has superior mechanical reliability and can be applied to a large-scale integrated circuit, since the glass substrate can be easily extended to a large area, accommodating a large number of elements on it. AS fabricated device was measured to have 0.3 dB of on-state insertion loss and 14 dB of off-state isolation at 30 GHz.
机译：通过在玻璃基板上进行单晶硅体微机械加工，已经制造了用于微波或毫米波的机械微动开关。该装置的机械部分具有优异的机械可靠性，并且由于玻璃基板可以容易地扩展到大面积并在其上容纳大量元件，因此可以应用于大规模集成电路。经测量，AS制造的器件在30 GHz时具有0.3 dB的通态插入损耗和14 dB的断态隔离。

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