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評測機器を支えるMEMSデバイス: 光スキャナと各種先進カンチレバー

机译:支持测量仪器的MEMS设备:光学扫描仪和各种先进的悬臂梁

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摘要

オリンパスは,20年近く培ってきた半導体およびrnMEMS技術を活かし,光スキャナやカンチレバーなどさrnまざまなMEMSデバイスを製品化してきた.今後も計測rn機器の性能上キーとなる光MEMSデバイスをはじめカンrnチレバーの製造技術や品質を維持し,ユーザーの要求に応rnえるようさまざまな機能を備えた製品を開発していく.
机译:奥林巴斯通过利用已经培养了近20年的半导体和rnMEMS技术,使各种MEMS设备(例如光学扫描仪和悬臂梁)商业化。将来,我们将继续开发具有各种功能的产品,以满足用户的需求,同时保持制造技术和罐式冷水机的质量,其中包括光学MEMS器件,这是测量设备性能的关键。

著录项

  • 来源
    《精密工学会誌》 |2010年第5期|510-513|共4页
  • 作者

    北澤正志;

  • 作者单位

    オリンパス(株)精密技術開発本部MEMS開発部(長野県上伊那郡辰野町伊那富6666);

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
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