摘要：通用商品氦质谱检漏仪一般都具有真空和吸枪检漏的功能,而吸枪检漏可以理解为通过检测氦气浓度随空间位置的变化以确定出高氦浓度区域从而找到漏点的过程。氦质谱检漏仪实际上可以作为氦气浓度检测仪使用,如果将氦气浓度随空间轴的变化引申到随时间轴的变化,测量出某个特定空间氦气浓度平均值的变化,就可以在对这个空间既不抽真空也不加压力的情况下确定这个空间和外界或内部部件间是否有氦气交换,从而达到总漏率测量的目的。尽管He质谱检漏仪已经广泛应用于各行各业的漏率测试,但对于产成品的检漏往往显得无能为力,原因在于许多成品不允许在内部加入He示踪气体。要直接检测从产品内部漏出的工质或介质,运用质谱仪是一个优选的方案。基于以上思想并结合PLC的可靠性以及PC机的灵活性,在原有手动操作仪器的基础上研制了数台自动化检漏仪并投入使用,既可用于典型应用,又可以通过PC软件实现所需要的特殊功能。
