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Thermopile-IR-Arrays mit hochstem Auflosungsvermogen

机译：具有最高分辨率的热电堆红外阵列

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Thermopile-Sensor-Arrays sind eine kostengunstige Alternative fur die Aufnahme von Warmebildern mit geringeren Anforderungen an die raumliche Auflosung. Durch Einfuhrung neuer Herstellungstechnologien, insbesondere einer modifizierten monolithischen CMOS-Technologie mit geringen Strukturgrossen und strukturgenauer Oberflachenmikromechanik, ist es moglich geworden, Thermopilearrays mit Auflosungen von derzeit bis zu 3968 Bildpunkten herzustellen. Neuartige Verpackungstechnologien mit Gasen geringer Warmeleitfahigkeit fuhren zu erhohten Sensitivitatswerten von 400 V/W. Mit der Einfuhrung von Vakuumgehausen konnten sogar Sensitivitatswerte von 800 V/W gemessen werden.
机译：热电堆传感器阵列是一种经济有效的替代方案，可用于记录对空间分辨率要求较低的热图像。引入新的生产技术，特别是具有较小结构尺寸和结构精确的表面微机械的改进的单片CMOS技术，使得生产分辨率高达3968像素的热电堆阵列成为可能。具有低导热率气体的新包装技术导致灵敏度值提高到400 V / W。随着真空外壳的引入，甚至可以测量800 V / W的灵敏度值。

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