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机译:亚微米A-C:h硅表面的图案化辅助大气压等离子体增强的化学气相沉积辅助
Univ Lorraine CNRS Dept CP2S Inst Jean Lamour UMR 7198 Parc Saurupt F-54011 Nancy France;
Univ Lorraine CNRS Dept CP2S Inst Jean Lamour UMR 7198 Parc Saurupt F-54011 Nancy France;
Univ Lorraine CNRS Dept CP2S Inst Jean Lamour UMR 7198 Parc Saurupt F-54011 Nancy France;
Univ Fed Parana Setor Tecnol Dept Engn Mecan Curitiba Parana Brazil;
Univ Lorraine CNRS Dept CP2S Inst Jean Lamour UMR 7198 Parc Saurupt F-54011 Nancy France;
a-C:H coatings; micro and nano-patterning; dewetting; afterglow; atmospheric-pressure plasma jets; 3D printer;
机译:亚微米A-C:h硅表面的图案化辅助大气压等离子体增强的化学气相沉积辅助
机译:气相动力学在大气压等离子体增强硅膜的化学气相沉积
机译:通过等离子体增强化学气相沉积双层富硅氧氮化硅和氮化硅的表面钝化结晶硅
机译:大气压等离子体增强化学气相沉积法均匀沉积二氧化锆层
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:CVD石墨烯上等离子增强化学气相沉积法制备的无转移反型石墨烯/硅异质结构
机译:微波等离子体增强的化学气相沉积制备功能梯度薄膜。具有防水表面的氧化硅膜。
机译:等离子体增强化学气相沉积生成表面生物分子的图案化