首页> 外文期刊>Ferroelectrics >Impact of various parameters on nanostructures fabrication mechanism on silicon surface with AFM tip induced local anodic oxidation
【24h】

Impact of various parameters on nanostructures fabrication mechanism on silicon surface with AFM tip induced local anodic oxidation

机译:AFM尖端诱导局部阳极氧化局部阳极氧化局部硅表面纳米结构对纳米结构制造机理的影响

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

The AFM tip induced local anodic oxidation (LAO) nanolithography is capable of manufacturing nanometer scale structures and devices for future generation. Experimental studies of LAO on silicon surface, implemented in atmospheric environment by AFM, are presented in this paper. A series of nanostructures with complex patterns was fabricated and analyzed by AFM. The results indicated that various of parameters, such as the applied voltage, pulse time, and ambient humidity, have a strong impact on the height of the nanostructures generated in this way. An advantage of the presented approach is to be utilized in future processing steps in the same environment.
机译:AFM尖端诱导的局部阳极氧化(LAO)纳米线能够为未来一代制造纳米级结构和装置。 本文提出了AFM在大气环境中实施的老挝对硅表面的实验研究。 通过AFM制造和分析了一系列具有复杂图案的纳米结构。 结果表明,各种参数,例如施加的电压,脉冲时间和环境湿度,对以这种方式产生的纳米结构的高度产生强烈影响。 所提出的方法的优点将在同一环境中的未来处理步骤中使用。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号