EUVレジストの最前線

渡邊健夫

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EUVレジストの最前線

机译：EUV抵抗最前沿

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Internet of ThingsやIT産業をさえているのは半導体技術であり、この半導体技術を支えているのは電子デバイスである。MPUやメモリ等の電子デバイスに進展は半導体微細加工技術の発展に起因している。

机译：它是一种半导体技术，即使是物联网和IT行业也是半导体技术，它是一种支持该半导体技术的电子设备。进展是由于诸如MPU和存储器的电子设备的半导体微制造技术的发展。

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来源
《放射线と产业》 |2017年第142期|共4页
作者
渡邊健夫;
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作者单位

兵庫県立大学高度産業科学技術研究所長極端紫外線リソグラフィ研究開発センター長教授;

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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类原子核物理学、高能物理学;
关键词

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