基板サイズの大型化に対応したLCD用露光装置：最大1100×1250mm基板サイズに対応可能な露光装置「MPA·7500、7500CF」の開発の背景、特徴、今後の展開などを解説

磯端純二

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基板サイズの大型化に対応したLCD用露光装置：最大1100×1250mm基板サイズに対応可能な露光装置「MPA·7500、7500CF」の開発の背景、特徴、今後の展開などを解説

机译：用于LCD的曝光设备与基板尺寸的尺寸兼容：曝光设备“MPA，7500,7500CF”，可以处理高达1100×1250 mm的基板尺寸，特征，未来开发等。

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基板の大型化が止まらない。 1985年に300×400mmの基板で始まった液晶パネル生産は、現在では、680×880mm ～730×920mmの基板でフル生産が行われており、韓国では超1m基板での生産が開始された。基板の大型化は、パネルサイズの大型化と、1枚の基板から取得できるパネル枚数を増やすことによりパネル価格を低減することが目的である。

机译：基材的扩大不会停止。 1985年开始使用300×400 mm基板的液晶面板制作现在全部生产680×880毫米至730×920mm，并在韩国开始生产超级1 M底物。增加基板尺寸的目的是通过增加面板尺寸的尺寸和可以从一个基板获取的面板数量来降低面板价格。

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来源
《電子技術》 |2002年第9期|共4页
作者
磯端純二;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电子电路;
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