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Scanning probe nanoscale patterning of highly ordered pyrolytic graphite

机译：高阶热解石墨的扫描探针纳米级图案

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In this work we present precision scanning probe etching of highly ordered pyrolytic graphite. We corroborate that the lithography is due to an electrochemical, polarity-dependent, meniscus-mediated etching of the carbon surface. By changing the etching temperature, we are able to reduce the feature size by 24%. External feedback control and probe tip cleaning enables desired cut patterns with high precision. Using a feedback-controlled atomic force microscope, we demonstrate an array of 105 trenches using 370 etching operations, with 136 +/- 6 and 183 +/- 5 nm precision over an area of 2.5 mu m x 2.5 mu m. This results in a precision of 4.4% and 2.7%, respectively.
机译：在这项工作中，我们提出了高度有序的热解石墨的精密扫描探针蚀刻。我们证实平版印刷是由于碳表面的电化学，极性依赖性，弯月面介导的蚀刻所致。通过更改蚀刻温度，我们可以将特征尺寸减小24％。外部反馈控制和探针尖端清洁可实现所需的高精度切割图案。使用反馈控制的原子力显微镜，我们演示了使用370蚀刻操作的105个沟槽的阵列，在2.5微米x 2.5微米的面积上的精度为136 +/- 6和183 +/- 5 nm。这导致精度分别为4.4％和2.7％。

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