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机译:电容耦合辉光放电等离子体系统对等离子体沉积的甲基丙烯酸2-(二乙氨基)乙酯甲基丙烯酸酯薄膜结构和光学特性的影响
机译:电容耦合辉光放电等离子体系统对等离子体沉积的甲基丙烯酸2-(二乙氨基)乙酯甲基丙烯酸酯薄膜结构和光学特性的影响
机译:电感耦合和电容耦合等离子体沉积的碳氟化合物薄膜的磨损特性
机译:氢辉光放电等离子体处理对SnO_x和SiC_(1.4)薄膜结构性能的影响
机译:碘掺杂对等离子聚合甲基丙烯酸2-(二乙氨基)乙酯薄膜的交流电性能的影响
机译:使用原位FTIR光谱研究甲基丙烯酸甲酯和相关前体的辉光放电等离子体反应机理和动力学。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:沉积在乙酸三甲基甲硅烷基/ CH4等离子体中的有机硅氧硅浆料,电容耦合的RF发光放电