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用于制造偏振器设备的方法、偏振器设备和具有偏振器设备的显示系统

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描述了一种用于制造偏振器设备的方法。所述方法包括：形成图案化抗蚀剂结构，所述图案化抗蚀剂结构具有线，所述线带有一个顶表面和两个或更多个侧表面；在所述图案化抗蚀剂结构上沉积导电材料，其中所述导电材料提供在所述顶表面和所述两个或更多个侧表面上，并且其中形成层结构；以及蚀刻所述层结构以从所述线的所述顶表面移除所述导电材料，以在所述两个或更多个侧表面处形成所述导电材料的导电线。

著录项

公开/公告号CN109804279A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-24

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201680090021.4
发明设计人凯文·卡宁厄姆;克里斯多弗·本彻;
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申请日2016-10-12
分类号G02B5/30(20060101);G02F1/1333(20060101);G02F1/1335(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 10:28:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-13

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20161012

实质审查的生效
2019-05-24

公开

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