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一种MEMS释放架、释放机台及MEMS组件释放的方法

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摘要

本申请公开了一种MEMS释放架，包括释放托盘及释放盖板；所述释放托盘包括安置区域，所述安置区域用于放置待释放MEMS组件；所述释放盖板的表面均匀分布有多个通孔；所述释放盖板通过支撑件设置在所述释放托盘上方，与所述释放托盘形成腔体，且所述腔体具有等离子体扩散通道。本申请在现有技术中的释放托盘上增设带孔的释放盖板，避免了等离子体直接冲击所述待释放MEMS组件，保护了晶圆的完整性；同时，所述释放盖板上均匀分布通孔，使所述等离子体尽可能均匀地与所述待释放MEMS组件接触，最终提高了成品的良率，此外，本申请改动小，成本低，易于大规模使用。本申请还提供了一种具有上述有益效果的释放机台及MEMS组件释放的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN110092344A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 烟台睿创微纳技术股份有限公司;

    申请/专利号CN201910405920.4

  • 发明设计人 孙传彬;张磊;杨水长;陈文礼;董国强;战毅;

    申请日2019-05-16

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人罗满

  • 地址 264006 山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号

  • 入库时间 2024-02-19 11:37:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/00 申请日:20190516

    实质审查的生效

  • 2019-08-06

    公开

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