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电容式超声换能器的制备方法及电容式超声换能器

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本发明涉及超声换能器技术领域，公开了一种电容式超声换能器的制备方法及电容式超声换能器。其中，电容式超声换能器的制备方法，包括：在衬底基板上依次形成第一牺牲层和第二牺牲层，所述第一牺牲层的致密性小于所述第二牺牲层的致密性；在所述第二牺牲层上形成振膜层，并在所述振膜层中形成过孔；通过所述过孔对所述第一牺牲层和第二牺牲层进行刻蚀以形成空腔结构。上述制备方法，可以在保证电容式超声换能器的制备良率的前提下，大大减小形成电容式超声换能器的空腔结构的时间，从而提高电容式超声换能器的制备效率。

著录项

公开/公告号CN112974197A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-18

原文格式PDF
申请/专利权人京东方科技集团股份有限公司;
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申请/专利号CN201911304640.0
发明设计人花慧;陶永春;党宁;
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申请日2019-12-17
分类号B06B1/02(20060101);
代理机构11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司;
代理人张佳
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
入库时间 2023-06-19 11:30:53

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-08-09

授权

发明专利权授予

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