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基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法

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本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法，该频率检测器包括功率分配器（PD）、移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管，功率分配器，用于接收待侧微波信号，并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号。本发明提供的检测方法包括如下步骤，当在下拉电极（8）加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，两路微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明低直流功耗，易测量。

著录项

公开/公告号CN102735928B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-07

原文格式PDF
申请/专利权人东南大学;
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申请/专利号CN201210204645.8
发明设计人廖小平;易真翔;
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申请日2012-06-20
分类号
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);
代理人柏尚春
地址 210096 江苏省南京市四牌楼2号
入库时间 2022-08-23 09:18:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-07-10

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 23/06 授权公告日:20140507 终止日期:20170620 申请日:20120620

专利权的终止
2014-05-07

授权

授权
2014-05-07

授权

授权
2012-12-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 23/06 申请日:20120620

实质审查的生效
2012-12-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 23/06 申请日:20120620

实质审查的生效
2012-10-17

公开

公开
2012-10-17

公开

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