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压电-电磁混合驱动的XYθz三自由度柔性作动器及方法

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摘要

本发明一种压电‑电磁混合驱动的XYθ_Z三自由度柔性作动器及方法，该作动器包括上平台、底座、音圈电机和压电堆；所述上平台包括U形移动块、分别与移动块的内部和外部通过H形柔性铰链和双平行板柔性铰链连接的动平台、分设在四个角部的固定体以及与动平台嵌套式设计的变截面梁；所述变截面梁包括中间的输出质量块和与之两端相连接的偏转梁；动平台由音圈电机驱动，变截面梁用压电陶瓷驱动，从而可实现质量块在低电压下进行较大行程的XY平动和一定范围的绕Z轴偏转；双平行板柔性铰链和H形柔性铰链的弹性元件设计提供了相应自由度的移动副，使得运动解耦；故本发明作动器位移分辨率高、响应快、功耗低、且驱动构件可一体化加工，可实现目标物的XYθ_Z三自由度高精度独立调节。

著录项

公开/公告号CN107834895B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-09

原文格式PDF
申请/专利权人西安交通大学;
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申请/专利号CN201711086589.1
发明设计人肖瑞江;徐明龙;田征;韩文文;王源;
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申请日2017-11-07
分类号H02N2/02(20060101);H02K41/035(20060101);
代理机构61215 西安智大知识产权代理事务所;
代理人何会侠
地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 10:29:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-04-09

授权

授权
2018-04-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H02N2/02 申请日:20171107

实质审查的生效
2018-04-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H02N 2/02 申请日:20171107

实质审查的生效
2018-03-23

公开

公开
2018-03-23

公开

公开
2018-03-23

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