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材料组织结构大尺寸高通量定量表征三维重构设备和方法

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摘要

本发明涉及一种材料组织结构大尺寸高通量定量表征三维重构设备和方法，所述设备包括辉光放电溅射单元、样品传送装置、扫描电镜单元和GPU计算机工作站。辉光放电溅射单元可实现样品大尺寸(cm级)、近平坦、快速制备样品，并可控地实现沿样品表面深度方向逐层剥蚀制样，快速扫描电镜实现样品特征图谱大尺寸、高通量地获取，样品传送装置负责将样品在辉光放电溅射光源和扫描电镜之间来回准确定位地传送，GPU计算机工作站将获取的样品特征图谱拼接、处理、识别和定量分布表征，以及对逐层溅射制样的样品组织结构进行三维重构；该设备和方法能实现cm级大尺寸样品的快速制备、特征图谱高通量的获取与评价、微观组织结构的定量统计分布表征及三维重构。

著录项

公开/公告号CN109884104B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-15

原文格式PDF
申请/专利权人钢研纳克检测技术股份有限公司;
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申请/专利号CN201910192461.6
发明设计人王海舟;余兴;沈学静;贾云海;李小佳;卢毓华;万卫浩;罗剑秋;李冬玲;赵雷;
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申请日2019-03-14
分类号
代理机构北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李彬
地址 100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号
入库时间 2022-08-23 10:58:38

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-05-15

授权

授权
2019-07-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/2202 申请日:20190314

实质审查的生效
2019-06-14

公开

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1. 材料组织结构大尺寸高通量定量表征三维重构设备和方法 [P] . 中国专利： CN109884104B . 2020.05.15
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