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基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法

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摘要

本发明公开了基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，本方法不需要单独设计图像采集系统，也不需要额外使用图像处理技术。直接根据干涉图样的出现顺序实现对微小齿轮端面倾斜程度的实时监测，确保了齿轮轮廓的提取精度；基于齿轮端面三维点云数据确定齿轮中心，有效提升了齿轮定心精度。

1. 基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法 [P] . 中国专利： CN110940283B . 2020.11.20
2. 基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法 [P] . 中国专利： CN110940283A . 2020-03-31
3. APPARATUS FOR TESTING THE PROFILE AND THE PITCH OF INVOLUTE GEAR TEETH [P] . CA933346A . 1973-09-11

机译：测试渐开线齿轮齿廓和齿距的装置
4. APPARATUS FOR TESTING THE PROFILE AND THE PITCH OF INVOLUTE GEAR TEETH [P] . 美国专利： US3757425A . 1973-09-11

机译：测试渐开线齿轮齿廓和齿距的装置
5. Measuring method for angular deviations of the laser beam and an interferometer for measuring the angular deviations of the laser beam [P] . PL219676B1 . 2015-06-30

机译：激光束角度偏差的测量方法和用于测量激光束角度偏差的干涉仪