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公开/公告号CN110741464B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 佳能机械株式会社;
申请/专利号CN201880037126.2
发明设计人 田井悠;永元信裕;下川义和;清水洋儿;上林笃正;
申请日2018-06-01
分类号H01L21/52(20060101);G01N21/956(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11493 北京市创世宏景专利商标代理有限责任公司;
代理人崔永华
地址 日本国滋贺县
入库时间 2022-08-23 11:35:49
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