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Dopant confinement in the delta doped layer using a dopant segregation barrier in quantum well structures

机译:使用量子阱结构中的掺杂物隔离势垒将掺杂物限制在δ掺杂层中

摘要

A device grade III-V quantum well structure and method of manufacture is described. Embodiments of the present invention enable III-V InSb quantum well device layers with defect densities below 1×108 cm2 to be formed. In an embodiment of the present invention, a delta doped layer is disposed on a dopant segregation barrier in order to confine delta dopant within the delta doped layer and suppress delta dopant surface segregation.
机译:描述了器件等级III-V的量子阱结构和制造方法。本发明的实施例使得能够形成缺陷密度低于1×10 8 cm - 2的III-V InSb量子阱器件层。在本发明的实施例中,为了将δ掺杂剂限制在δ掺杂层内并抑制δ掺杂剂表面偏析,在掺杂剂偏析阻挡层上设置δ掺杂层。

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