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PRODUCTION METHOD FOR SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL

机译:碳化硅单晶的生产方法

摘要

The present invention provides a method for manufacturing a silicon carbide single crystal by sublimating a solid silicon carbide raw material in a growth container to grow a silicon carbide single crystal on a seed crystal substrate. The method includes: mixing a tantalum (Ta) powder with a carbon powder; attaching the mixture to the solid silicon carbide raw material in the growth container; and heating the resultant for sintering to form a tantalum carbide (TaC) coating film on a surface of the solid silicon carbide raw material. A silicon carbide single crystal is grown after or while the coating film is formed. Thereby, the present invention provides a method for manufacturing a silicon carbide single crystal with few carbon inclusions.
机译:本 发明提供了通过 在生长 容器 升华 固体 碳化硅 原料 的 晶种基板上 生长 的碳化硅 单晶 的制造碳化硅 单晶的方法 。 该方法包括 : 用碳 粉末 混合 钽(Ta) 粉末; 附接 该混合物以 在生长 容器内的 固体 碳化硅 原料 ; 和 加热所得 烧结 而形成固体 碳化硅 原料 的 表面上的 碳化钽(TaC ) 的涂膜。 一种碳化硅 单晶 之后 或 同时 形成的涂膜 生长。 从而 ,本发明 提供一种用于制造 具有很少 碳 夹杂物 的碳化硅 单晶的方法 。

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