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高铝盖板玻璃刻蚀后表面'亮点'的测试和研究

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本文利用偏光显微镜、探针式表面轮廓仪、扫描电子显微镜等测试设备,对高铝盖板玻璃刻蚀后表面的"亮点"缺陷形貌、成份、凹凸方向进行测试判定,并由此推断其发生原因及发生工序;建议采用浸泡式方法刻蚀减薄高铝盖板玻璃的过程中会出现三类“亮点”缺陷:第一类为凸出玻璃表面的拖尾状，是刻蚀过程中产生的四氟化硅粉末沉积遮挡刻蚀形成的;可通过增加鼓泡流量或采取其它提升酸液冲刷力的措施减少或消除。第二类为凹进玻璃表面的点状，由玻璃表面沾锡被刻蚀液溶去形成的;可通过对玻璃板的锡面进行抛光、或调整锡槽工艺减少沾锡缺陷，减少或消除。第三类为凹进玻璃表面的长条状，是玻璃表面划伤，经刻蚀被放大造成的;或通过定期清理传输辊道，保持产线洁净度等措施加以减少或消除。

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来源
《2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会》|2017年|183-186|共4页
会议地点北京
作者
胡正宜; 宫汝华; 展贵鑫; 李盛印;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.687;
关键词
高铝盖板玻璃; 刻蚀工艺; 浸泡法; 亮点缺陷;
入库时间 2022-08-17 10:12:39

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