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冯勇; 刘丰珍; 朱美芳; 刘金龙; 韩一琴;
中国金属学会;
多晶硅薄膜; 热丝助化学气相沉积; 晶化;
机译:沉积参数对低频PECVD法制备多晶硅薄膜结构,电学和光学特性的影响
机译:通过PECVD-SPC制备的多晶硅薄膜太阳能电池
机译:射频偏压RF-PECVD在低温下直接制备大晶粒多晶硅薄膜
机译:用ECR-PECVD制备SiH4多晶硅薄膜的实验研究。
机译:使用直流鞍场PECVD制备的氢化非晶碳化硅,用于光伏应用。
机译:基于溶液的多晶硅薄膜的制备回收的聚硅烷晶体管
机译:Ni催化剂厚度对热丝PECVD合成碳纳米管生长的影响
机译:热丝CVD法制备硅异质结器件的研究进展
机译:加热助热丝的方法
机译:用于电热丝放电弯曲的氧化铝涂层间接加热的阴极以及通过电热丝在电热丝上制备绝缘体的方法
机译:制备多晶硅薄膜硅太阳能电池的方法及制备多晶硅薄膜硅太阳能电池的方法
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