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余云鹏; 徐严平; 吴永俊; 林璇英;
中国金属学会;
低温沉积方法; 二氧化硅薄膜; SiCl,4; 红外光谱;
机译:用VHF-PECVD技术低温沉积nc-SiO_x:H / a-SiO_x:H多层膜的结构和光致发光特性
机译:NC-SiO_x的结构和光致发光性质:H / A-SiO_X:H通过VHF-PECVD技术在低温下沉积的多层膜
机译:新的ECR微波PECVD工艺在低温下沉积的SiO / sub 2 /薄膜的电子性能
机译:ECR-PECVD沉积SIN_X,SIO_2VSIN_X和SIO_XN_Y电介质膜的电导瞬态对比分析硅基板
机译:PECVD系统的设计,构造和运行以及通过低压化学气相沉积法开发的GeO(2)-SiO(2)薄膜玻璃电介质。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:生长沉积技术对pECVD和pECVD性能的影响 热siO2
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机译:控制PECVD沉积的含硅薄膜的膜厚均匀性的方法
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