首页> 中文会议>2013年海峡两岸平坦化技术研讨会 >65nm多层铜布线碱性化学机械平坦化工艺的研究

65nm多层铜布线碱性化学机械平坦化工艺的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文主要研究了65nm碱性铜布线的平坦化工艺.对不同尺寸铜线条进行抛光,讨论了抛光压力、抛光液流量和转速对平坦化的影响.结果表明,压力是影响平坦化的主要因素;分别改变压力、流量或转速时,窄线条的平坦化效果优于宽线条;平坦化效果随着压力的减小逐渐变好,即压力为1.0 psi (1psi=6.895kPa)时,平坦化效果最好;抛光液流量在300ml/min时,化学反应和机械作用都达到饱和,平坦化效果最佳;平坦化效果随着转速的提高逐渐变好,即转速在100rpm时,保证了质量传递效率,所有铜线条都达了到最好的平坦化.

著录项

来源
《2013年海峡两岸平坦化技术研讨会》|2013年|26-31|共6页
会议地点天津
作者
Zhang Hong-yuan; 张宏远; Liu Yu-ling; 刘玉岭; Wang Chen-wei; 王辰伟; Li Hai-long; 李海龙; Chen rui; 陈蕊; Cao yang; 曹阳;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN405.2;
关键词
集成电路; 铜布线; 碱性化学机械平坦化工艺; 效果评估;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 低压下碱性铜抛光液对300mm多层铜布线平坦化的研究 [J] . 郑伟艳 ,刘玉岭 ,王辰伟 . 功能材料 . 2012,第024期
2. 集成电路铜布线与衬底碱性化学机械平坦化关键技术与材料 [J] . 刘玉岭 ,牛新环 ,檀柏梅 . 天津科技 . 2011,第002期
3. 碱性铜抛光液在65 nm多层铜布线平坦化中的应用 [J] . 刘玉岭 ,王辰伟 ,牛新环 . 河北工业大学学报 . 2013,第001期
4. ULSI碱性抛光液对铜布线平坦化的影响研究 [J] . 唐心亮 ,智兆华 ,刘玉岭 . 河北科技大学学报 . 2011,第004期
5. 多层互连工艺中铜布线化学机械抛光研究进展 [J] . 陈苏 ,张楷亮 ,宋志棠 . 半导体技术 . 2005,第8期
6. GSI多层铜布线化学机械平坦化速率一致性的研究 [C] . WANG Chen-wei ,王辰伟 ,LIU Yuling . 2013年海峡两岸平坦化技术研讨会 . 2013
7. GLSI多层铜布线碱性粗抛液平坦化效率的研究 [A] . 袁浩博 . 2014

65nm多层铜布线碱性化学机械平坦化工艺的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅