IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
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机译:用于电子和电能产生应用的低温硅纳米结构的生长
机译:微波等离子体余辉氧化在低温下生长的氟化和N2O等离子体退火的超薄氧化硅的基本电性能